Al/Al2o3/P-Si yapısının Co gaz algılama özellikleri
Yükleniyor...
Dosyalar
Tarih
2015
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayıncı
Gazi Üniversitesi
Erişim Hakkı
info:eu-repo/semantics/openAccess
Özet
Bu çalışmada Al/Al2O3/p-Si yapısının gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Al2O3 metal oksit yapısı atomik tabaka biriktirme (ALD) metoduyla üretilmiştir. Üretilen yapının farklı sıcaklıklar (300-450K) ve farklı CO gaz konsantrasyonlarında (50-2000 ppm) gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Artan sıcaklık ve gaz konsantrasyonuyla duyarlılıklarda artış gözlenmiştir. Elde edilen grafikler göstermektedir ki gaz molekülleri ile numune yüzeyi arasında yük alışverişine dayalı bir etkileşme vardır. Ayrıca tepki ve geri dönüş süreleri sırasıyla 11 ve 16 s olarak hesaplandı.
In this study, deposition (ALD) method. The temperature dependent electrical characterization of produced sample was performed in gas atmosphere (carbon monoxide and carbon dioxide) at different temperatures (300-450 K) and different gas concentrations (502000 ppm ). The results show that the reaction between the gas molecules and the surface of the sample is based on the charge transfer mechanism. The response and recovery times are calculated 11 and 16 s, respectively.
In this study, deposition (ALD) method. The temperature dependent electrical characterization of produced sample was performed in gas atmosphere (carbon monoxide and carbon dioxide) at different temperatures (300-450 K) and different gas concentrations (502000 ppm ). The results show that the reaction between the gas molecules and the surface of the sample is based on the charge transfer mechanism. The response and recovery times are calculated 11 and 16 s, respectively.
Açıklama
research
Anahtar Kelimeler
Gaz Sensör, Metal Oksit Yarıiletken, CO, Gas Sensor, Metal Oxide Semiconductor
Kaynak
Politeknik Dergisi
WoS Q Değeri
N/A
Scopus Q Değeri
Cilt
18
Sayı
2
Künye
Karaduman, I., Demirel, N., Yıldız, D. E., Acar, S. (2015). Al/Al2o3/P-Si yapısının Co gaz algılama özellikleri. Politeknik Dergisi, 18(2), 79-84.
