Al/Al2o3/P-Si yapısının Co gaz algılama özellikleri

dc.authorid0000-0003-2212-199X
dc.contributor.authorKaraduman, Irmak
dc.contributor.authorDemirel, Nevin
dc.contributor.authorYıldız, Dilber Esra
dc.contributor.authorAcar, Selim
dc.date.accessioned2019-05-16T21:07:09Z
dc.date.available2019-05-16T21:07:09Z
dc.date.issued2015
dc.departmentHitit Üniversitesi, Fen Edebiyat Fakültesi, Fizik Bölümü
dc.descriptionresearch
dc.description.abstractBu çalışmada Al/Al2O3/p-Si yapısının gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Al2O3 metal oksit yapısı atomik tabaka biriktirme (ALD) metoduyla üretilmiştir. Üretilen yapının farklı sıcaklıklar (300-450K) ve farklı CO gaz konsantrasyonlarında (50-2000 ppm) gaz algılama özellikleri incelenmiştir. Artan sıcaklık ve gaz konsantrasyonuyla duyarlılıklarda artış gözlenmiştir. Elde edilen grafikler göstermektedir ki gaz molekülleri ile numune yüzeyi arasında yük alışverişine dayalı bir etkileşme vardır. Ayrıca tepki ve geri dönüş süreleri sırasıyla 11 ve 16 s olarak hesaplandı.
dc.description.abstractIn this study, deposition (ALD) method. The temperature dependent electrical characterization of produced sample was performed in gas atmosphere (carbon monoxide and carbon dioxide) at different temperatures (300-450 K) and different gas concentrations (502000 ppm ). The results show that the reaction between the gas molecules and the surface of the sample is based on the charge transfer mechanism. The response and recovery times are calculated 11 and 16 s, respectively.
dc.identifier.citationKaraduman, I., Demirel, N., Yıldız, D. E., Acar, S. (2015). Al/Al2o3/P-Si yapısının Co gaz algılama özellikleri. Politeknik Dergisi, 18(2), 79-84.
dc.identifier.endpage84en_US
dc.identifier.issn1302-0900
dc.identifier.issue2en_US
dc.identifier.startpage79en_US
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/11491/2920
dc.identifier.volume18en_US
dc.identifier.wosqualityN/A
dc.indekslendigikaynakWeb of Science
dc.indekslendigikaynakTR-Dizin
dc.language.isotr
dc.publisherGazi Üniversitesi
dc.relation.ispartofPoliteknik Dergisi
dc.relation.publicationcategoryMakale - Ulusal Hakemli Dergi - Kurum Öğretim Elemanı
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subjectGaz Sensören_US
dc.subjectMetal Oksit Yarıiletkenen_US
dc.subjectCOen_US
dc.subjectGas Sensoren_US
dc.subjectMetal Oxide Semiconductoren_US
dc.titleAl/Al2o3/P-Si yapısının Co gaz algılama özellikleri
dc.title.alternativeThe Co gas sensing properties of Al/Al2o3/P-Si structureen_US
dc.typeArticle

Dosyalar

Orijinal paket
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Yükleniyor...
Küçük Resim
İsim:
dilberesrayildiz.pdf
Boyut:
640.29 KB
Biçim:
Adobe Portable Document Format
Açıklama:
Tam Metin / Full Text